氧化鋁拋光液是針對C向藍寶石這種超硬材料的拋光而設計的，在C向藍寶石拋光上具有很好的表現。它有高效的去除速率，拋光后的藍寶石表面缺陷較少，可以保證被拋工件有較高的良品率。尤其在拋光速率方面，氧化鋁 拋光液較之前的氧化硅拋光液有顯著提升，是其速率的2倍以上。新安納公司開發的氧化鋁基藍寶石拋光液系列 產品包括WH-M1，WH-X1和WH-B8S等。

優點：1、拋光表面質量好，表面粗糙度Ra小于0.3nm。2、去除效率高，拋光速率大于10μm/h。3、拋光壽命長。