XAN SA－1503、SA-1402-TS，SA-1403等藍寶石拋光液

XAN SA－1503、SA-1402-TS，SA-1403 slurr y for the polishing of sapphire

優點：1、拋光速率大于5μm /h。 2、拋光表面平整光滑，無明顯劃傷。

應用：可用于藍寶石粗拋和精拋。

XAN- SA-1201-S藍寶石精拋液

XAN- SA-1201-S slurr y for the final polishing of sapphire

優點：1、拋光后表面質量好，表面粗糙度RMS小于1nm。2、去除效率高，拋光速率大于3μm/h。3、易清洗。

應用：藍寶石襯底的精拋

                             拋 光 前

                               拋 光 后